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離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—水冷系統(tǒng)

  水冷系統(tǒng)是用來冷卻離子源、工件臺(tái)、水冷障板、油擴(kuò)散等部件的,一般由四個(gè)截止閥、水壓繼電器和管路組成。水壓繼電器當(dāng)停水和水壓過低時(shí)能自動(dòng)切斷電源,由斷水警報(bào)器及時(shí)發(fā)出音響,給予報(bào)警,以保護(hù)設(shè)備不致燒壞。
標(biāo)簽: 離子束刻蝕水冷系統(tǒng)  

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