離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—水冷系統(tǒng)

2014-06-06 06:11:00 閱讀()

　　水冷系統(tǒng)是用來冷卻離子源、工件臺(tái)、水冷障板、油擴(kuò)散泵等部件的，一般由四個(gè)截止閥、水壓繼電器和管路組成。水壓繼電器當(dāng)停水和水壓過低時(shí)能自動(dòng)切斷電源，由斷水警報(bào)器及時(shí)發(fā)出音響，給予報(bào)警，以保護(hù)設(shè)備不致燒壞。