供氣系統(tǒng)分氬氣（工質(zhì)氣體）和氧氣（輔助氣體）兩套系統(tǒng)。在氬氣中混入一定比例的氧氣，可以防止一些晶體（如鈮酸鋰）表面缺氧而導致性能變化。LSK-3型離子束刻蝕機的供氣系統(tǒng)分手控和自控兩路。手控系統(tǒng)由流量微調(diào)真空閥(WT30-1型)、兩個GM-10型真空隔膜閥、一個容積為8L的貯氣罐，一個2.5kg/cm²真空壓力表和管路組成。自控系統(tǒng)除手控的部件外，加有一套D07-2/ZM型質(zhì)量流量控制器。氣體流量由工作壓力間接指示。