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離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點—快門

  快門是用來隔斷離子束通向工件臺的通路的,目的是便于在刻蝕前檢測束流密度和束的中和情況。從放電開始引出束流到束流穩(wěn)定往往需要幾分鐘的時間。在離子束穩(wěn)定后才打開門進行刻蝕并同步計時,故刻蝕的時間可以用開關(guān)快門來控制??扉T有手動、電動兩種,操作要簡單可靠、無故障。圖10 - 42給出了手電兩用四桿聯(lián)動單葉快門結(jié)構(gòu)示意圖。
離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點—快門
  
  手電兩用四桿聯(lián)動的單葉快門,它的離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點—快門10mm的單葉片固定在空心連桿上。連桿與傳動軸相連,傳動軸通過高真空威爾遜密封跟位于真窒室外的連軸、滑桿相連?;瑮U在電磁線圈內(nèi)套里,通過改變電磁線圈中的電流方向,使滑桿左右移動,從而帶動連軸、傳動軸、固定聯(lián)桿聯(lián)動、單葉片擺動,使快門打開或關(guān)閉。電磁鐵可使滑桿移動距離為40mm。電磁鐵線圈絲徑0 .44mm,共2800匝(電阻20歐);威爾遜密封的潤滑油用DC-274擴散油。
標簽: 離子束刻蝕快門  

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