快門是用來隔斷離子束通向工件臺的通路的，目的是便于在刻蝕前檢測束流密度和束的中和情況。從放電開始引出束流到束流穩(wěn)定往往需要幾分鐘的時間。在離子束穩(wěn)定后才打開門進行刻蝕并同步計時，故刻蝕的時間可以用開關(guān)快門來控制?？扉T有手動、電動兩種，操作要簡單可靠、無故障。圖10 - 42給出了手電兩用四桿聯(lián)動單葉快門結(jié)構(gòu)示意圖。
　　
　　手電兩用四桿聯(lián)動的單葉快門，它的10mm的單葉片固定在空心連桿上。連桿與傳動軸相連，傳動軸通過高真空威爾遜密封跟位于真窒室外的連軸、滑桿相連?；瑮U在電磁線圈內(nèi)套里，通過改變電磁線圈中的電流方向，使滑桿左右移動，從而帶動連軸、傳動軸、固定聯(lián)桿聯(lián)動、單葉片擺動，使快門打開或關(guān)閉。電磁鐵可使滑桿移動距離為40mm。電磁鐵線圈絲徑0 .44mm，共2800匝(電阻20歐)；威爾遜密封的潤滑油用DC-274擴散泵油。