工件臺是裝卡刻蝕工件用的。由于被刻蝕的工件種類和要求不同,所以工件臺的種類亦不同。一般為平移和旋轉(zhuǎn)兩種工件臺;按水冷方式又分為直接水冷和間接水冷兩種。
圖10-40給出了一維平移工件臺結(jié)構(gòu)原理圖;圖10-41給出了旋轉(zhuǎn)、平移、傾斜的三維工件臺結(jié)構(gòu)原理圖。
平移工件臺采用步進(jìn)電機(jī)直聯(lián)絲桿傳動結(jié)構(gòu)。90BF006型步進(jìn)電機(jī)通過威爾遜高真空轉(zhuǎn)動密封機(jī)構(gòu)與絲桿直聯(lián)、絲桿再轉(zhuǎn)動固定在工件臺底部的螺母使工件臺平移;絲桿和螺母的螺距為1mm;工件臺z*大行程為150mm,并由裝在兩端的行程開關(guān)加以限位;工件臺要求定位精度為5μm,它主要依靠絲桿和螺母的(有松緊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))加工精度來保證?;瑵櫽陀肈C-274擴(kuò)散泵油,工件臺內(nèi)部銑成蛇形槽直接通水冷卻,降低了工件溫度,防止晶片受熱碎裂和光刻膠焦化。工件臺的前面還備有可拆卸的光闌裝架。
三維直接水冷旋轉(zhuǎn)工件臺由SY-5力矩電機(jī)、工件臺、蝸輪蝸桿傾斜機(jī)構(gòu)、絲桿驅(qū)動平移機(jī)構(gòu)等組成。直接水冷工件臺直徑為100mm,旋轉(zhuǎn)由力矩電機(jī)通過齒輪來實(shí)現(xiàn)。轉(zhuǎn)速從5r/min~30r/min連續(xù)可調(diào),正反均可;傾斜角度,與束垂直的水平方位是0°±90°,是通過蝸輪蝸桿實(shí)現(xiàn)的;平移距離150mm,是通過轉(zhuǎn)動絲桿實(shí)現(xiàn)的;直接水冷是通過空心的軸和碗形橡膠密封圈實(shí)現(xiàn)的。這種直接水冷轉(zhuǎn)動工件臺z*大的優(yōu)點(diǎn)是在刻蝕的過程中,在真空條件下,通過轉(zhuǎn)動手輪可以改變距離和傾斜角度。直接水冷降低了工件臺靶面的溫度,可以提高器件的加工刻蝕質(zhì)量。
離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—工件臺
2014-06-05 06:10:00 閱讀()
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