該設(shè)備主要是由清潔的全無油超高真空系統(tǒng)，外延生長和控制系統(tǒng)及監(jiān)測分析儀器等部分組成。其結(jié)構(gòu)簡圖如圖10-36所示。
　　
　　設(shè)備的真空室是由直徑為450mm，不銹鋼材料制成的圓筒，其周圍需開大小不同的20余個法蘭，用以配置各種表面分析儀器、樣品架、樣品傳遞結(jié)構(gòu)、分子束源及觀察窗等等。為了充分發(fā)揮升華泵的抽速，升華泵的直徑與真空室直徑相一致，選用法蘭連接。便于真空室布局，該設(shè)備采用臥式布局，因而要使真空室和升華泵的法蘭準(zhǔn)確地對中相接，故采用將真空室和超高真空機組分成二個獨立的支架，然后用軌道使這兩部分準(zhǔn)確地對中，保證密封可靠，節(jié)省了真空室開啟時的起重設(shè)備。
　　
　　獨立束源快速換片型分子束外延設(shè)備本身具有兩個特點。s*先是分子束源，它由六個獨立分子束爐組成，裝在160mm直徑的法蘭上，每個爐子具有獨立的快門連同加熱引線，測溫?zé)犭娕嫉燃醒b在一個小法蘭上，因而每個爐子可容易地獨立取換，互不影響。其次是具有一個獨立的樣品傳遞結(jié)構(gòu)，可快速地取換樣品，提高了工效。