我國真空鍍膜設備研制始于20世紀50年代，當時研制了各種蒸發(fā)式真空鍍膜設備，滿足了光學事業(yè)發(fā)展需要。進入上世紀70年代以后，由于國民經濟各種領域的需求，各類真空鍍膜設備得到了長足的發(fā)展。目前各類鍍膜設備基本齊全，種類繁多，滿足了各行業(yè)的需要。真空鍍膜設備主要類型有真空蒸發(fā)鍍膜設備、磁控濺射鍍膜設備、離子鍍膜設備、化學氣相沉積鍍膜設備等。各類鍍膜設備及生產廠家見表10-31。