PCVD等離子體在激發(fā)電力的輸入方式上有外部感應(yīng)耦合方式和內(nèi)部感應(yīng)耦合方式；從生產(chǎn)過(guò)程來(lái)講，有批量式的，半連續(xù)式的和連續(xù)式的幾種，下面分別加以介紹。
(1)外部感應(yīng)耦合方式
?、倥渴絇CVD裝置。
在石英管的外側(cè)繞上高頻線圈，接上供氣系統(tǒng)抽氣，系統(tǒng)就組成了反應(yīng)器。高頻線圈從外部把高頻電力輸給反應(yīng)器中的氣體，產(chǎn)生等離子體。這種裝置的優(yōu)...
