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CVD裝置典型實例:低溫CVD裝置
2014-05-24  閱讀

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  圖10-26給出了低溫CVD裝置簡圖。在500℃以下制作絕緣薄膜,用于集成電路中鋁布線表面防護膜、線間絕緣膜。 ...