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半導體生產(chǎn)中采用的CVD原料
標簽: 半導體
2014-05-23  閱讀

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  CVD原料一般應選擇常溫下是氣態(tài)的物質或具有較高蒸氣壓的液體或固體,原料有氫化物、鹵化物、有機金屬化合物等。表10-19給出了制備CVD薄膜原料及其反應生成物。 ...