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空心陰極離子鍍已廣泛應(yīng)用于裝飾、工具、模具及其它特種涂層。HCD法利用熱陰極放電產(chǎn)生等離子體束,以空心鉭管作陰極。輔助陽極距陰極較近,兩者作為引燃弧光放電的兩極。HCD槍引燃方式有兩種:其一在鉭管處施加高頻電場,使鉭管通入的氬氣電離,氬離子轟擊鉭管,受熱升溫達(dá)到熱電子發(fā)射溫度時,產(chǎn)生等離子電子束;其二是在陰極鉭管與輔助陽極之間加300V左右直流電壓,鉭管通入氬氣,在10Pa—1Pa...
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