該機組是以羅茨真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵并配有電磁閥，管路等組成的真空獲得設(shè)備。它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時間短等特點。廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中，以抽除非腐蝕性氣體，還可用于醫(yī)藥、食品、電子、化工等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。其型號及技術(shù)性能見表9-31。