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真空元件:前級(jí)預(yù)抽管道低溫吸附阱
2014-05-03  閱讀

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  預(yù)抽中,當(dāng)壓力降到粘滯一分子流狀態(tài)的壓力時(shí)(<10Pa數(shù)量級(jí)),機(jī)械泵油開(kāi)始污染