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真空元件:銅箔阱的概述
標(biāo)簽: 真空元件銅箔阱
2014-04-30  閱讀

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  銅箔阱吸附油蒸氣的現(xiàn)象是屬于物理吸附過程,因而要求有較大的吸附表面。典型的銅箔阱如圖7-12(a-c)所示。它是用厚0.76mm、寬152mm的無氧高導(dǎo)銅滾壓成深0.63mm的波狀板,再卷起來放在真空室和