高壓縮比的渦輪分子泵，以雙級旋片式真空泵為前級，可得到5×10-9Pa的真空度。用擴(kuò) 散泵作前級，可得到10-9Pa真空度。泵入口安裝上鈦升華阱，獲得的真空度高于10-9Pa。渦輪分子泵對氫的壓縮比較小，殘余氣體中主要是氫。泵的極限氫分壓受泵的壓縮比和前級管道中氫分壓的限制，采用擴(kuò)散泵作前級，可降低前級管道中的氫分壓，進(jìn)而可提高泵的 極限真空。
　　
　　渦輪分子泵內(nèi)表面積大，烘烤出氣是非常必要的。由于結(jié)構(gòu)限制，一般只允許烘烤到100℃左右。為了消除粗抽時的污染，可以通過渦輪分子泵進(jìn)行粗抽，在這種情況下，要求機(jī)械泵有足夠大的抽速，使渦輪分子泵轉(zhuǎn)數(shù)達(dá)到額定轉(zhuǎn)數(shù)的75%時，就能將真空室抽到20Pa—200Pa。一般渦輪分子泵的加速時間為5min～10min，這意味著機(jī)械泵排氣時間必須小于這個范圍。