油擴(kuò)散泵是獲得超高真空的重要泵種，但必須很好地解決污染，否則無法獲得超高真空。擴(kuò)散泵系統(tǒng)的污染主要來自擴(kuò)散泵油的返流，機(jī)械泵油的返流，以及擴(kuò)散泵油加熱分解產(chǎn)生的永久性氣體，如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴(kuò)散泵油返流原因、影響及防止在第四章已論述過，這里不再贅述。分解產(chǎn)生的永久性氣體用液氮冷阱是無益的，應(yīng)使用鈦升華阱，資料[66]介紹的鈦升華阱得到了10^-9Pa的真空度。減少機(jī)械泵油的返流有三種方法：
　　
　?、僭诖殖楣艿乐屑右旱溱?，是一種z*有效的方法。資料[67]中給出了這種冷阱結(jié)構(gòu)，并給出了譜圖;
　　
　　②粗抽管道上安裝充氣閥，充入干燥氮?dú)?，使真空室保持?5Pa—30Pa真空度;
　　
　?、鄄挥么殖楣艿?，通過擴(kuò)散泵進(jìn)行粗抽。一般來講，污染控制較好的真空系統(tǒng)，可得到10^-10Pa的真空度。