超高真空系統(tǒng)所用的主泵有油擴散泵、濺射離子泵、鈦泵(蒸發(fā)式或升華式鈦泵)、渦輪分子泵、低溫泵等。近年來國內(nèi)有用鋯鋁吸氣劑泵與其它泵類組合抽氣來獲得超高真空。
　　
　　對超高真空系統(tǒng)使用的真空泵要求，除通常的選泵原則外，還有：
　　
　?、僦鞅脴O限真空要比真空裝置的工作真空高一個到一個半數(shù)量級，如工作真空選1×10^-6Pa，那么泵的極限真空至少為1×10^-7Pa;
　　
　?、谠谡婵昭b置工作真空范圍內(nèi)，真空泵要有足夠的抽速，以便排走裝置中氣體;
　　
　　③主泵或者主泵入口到真空室排氣口的管道、冷阱、擋板、閥門等均能經(jīng)受250°C—450°C的烘烤;
　　
　?、苤鞅脤Ρ怀闅怏w有選擇性抽氣時，應配輔助泵聯(lián)合抽氣;
　　
　?、菡婵毡盟娩摬膽x用不銹鋼。