超高真空系統(tǒng)清洗處理非常重要，清洗處理好與否，直接影響極限真空的獲得。良好的清潔處理工藝，可以使材料的出氣率低幾個(gè)數(shù)量級(jí)。以不銹鋼為例，長(zhǎng)期暴露于大氣，不進(jìn)行任 何處理，抽氣1h后的出氣率為2×10^-3[Pa.m^3/(s.m^2)];如果經(jīng)除油處理，不烘烤抽氣4h后可到1×10 ^-5[Pa.m^3/(s.m^2)];若除油后再清洗，在250℃下烘烤15h，出氣率可降到1×10^-8 [Pa.rn^3/(s.rrr^2)]，使出氣率下降了近五個(gè)數(shù)量級(jí)。文獻(xiàn)詳細(xì)論述了真空清洗原理、清洗劑以及各種清洗方法和清潔處理方法。
　　
　　真空系統(tǒng)烘烤，對(duì)獲得超高真空是不可少的手段。一個(gè)設(shè)計(jì)合理的真空系統(tǒng)，如果沒(méi)有烘烤手段，也沒(méi)有采取其它措施，無(wú)論選擇什么類(lèi)型的真空泵抽氣，如擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、濺射離子泵、低溫泵等，只能獲得的工作壓力約為10 -4Pa—10-5Pa數(shù)量級(jí)，極限真空10 - Pa量級(jí)，再高的真空度是不可能的。
　　
　　不銹鋼z*有效的加速出氣方法有兩種：①在800℃—950℃溫度下真空烘烤;②在400℃下空氣中烘烤。真空烘烤應(yīng)在10-6Pa下進(jìn)行，這樣可使材料中的氫濃度降低到z*低限度。資料[63]提出烘烤應(yīng)在2700Pa的純氧中進(jìn)行，以避免烘烤過(guò)程中，存在的水蒸氣對(duì)表面產(chǎn)生影響。
　　
　　烘烤時(shí)需要注意金屬一玻璃封接件、金屬一陶瓷封接件的烘烤溫度不應(yīng)超過(guò)400℃。銅墊圈不應(yīng)超過(guò)450℃。資料[16]提出玻璃烘烤溫度根據(jù)種類(lèi)不同而異，其范圍為140℃～300℃內(nèi)，非金屬材料為80℃—100℃，普通金屬材料為300℃～450℃。資料[64]介紹了超高真空系統(tǒng)的烘烤方法。