各種低溫泵、低溫吸附泵(不含分子篩泵)、濺射離子泵、鈦泵等均需要在某種預(yù)真空下才能啟動。此時，系統(tǒng)所需預(yù)抽泵的抽速不僅與真空室容積有關(guān)，同時與所設(shè)定的預(yù)抽時間有關(guān)。預(yù)抽泵的抽速用下式計算

　　
　　其余符號同式(9-11)。
　　
　　對于大型真空系統(tǒng)，用主泵配置的前級泵作為粗抽泵時不可取。因為有時為了縮短粗抽時間，前級泵需配置較大，長期運行耗能很高，很不經(jīng)濟。為此，大型系統(tǒng)均配有專用的粗抽泵。其抽速計算同式(9-26)。