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真空室:前級(jí)泵的配置抽速確定

  主選定之后,如何配置前級(jí)泵,需遵守的原則是:
  
 ?、僖笄凹?jí)泵造成主泵工作所需的預(yù)真空條件;
  
 ?、诔樽咧鞅卯a(chǎn)生的z*大氣體量;
  
 ?、郾仨殱M足主泵進(jìn)氣口能工作的z*大壓力時(shí)所需的預(yù)抽時(shí)間要求。
  
  不同的主泵其前級(jí)泵配置各異,分述如下。
  
  1.蒸汽流泵前級(jí)配置
  
  此類泵包括油擴(kuò)散泵、油擴(kuò)散噴射泵以及增擴(kuò)泵等。在主泵允許的z*大排氣口壓力下,前級(jí)泵需將主泵產(chǎn)生的z*大氣體量及時(shí)抽走,即前級(jí)泵的有效抽速必須滿足

真空室:前級(jí)泵的配置抽速確定
  
  2.羅茨泵配置油封機(jī)械泵
  
  羅茨泵其前級(jí)配置油封機(jī)械泵,前級(jí)泵的抽速由經(jīng)驗(yàn)公式確定,即

真空室:前級(jí)泵的配置抽速確定

        式中系數(shù)選擇,通常抽速大的羅茨泵區(qū)職校,抽速小的選大值。
  
  3.羅茨泵以水環(huán)泵抽速選擇根據(jù)經(jīng)驗(yàn)確定,即

真空室:前級(jí)泵的配置抽速確定

        4.羅茨泵串聯(lián)機(jī)組
  
  羅茨泵串聯(lián)機(jī)組,有兩種配置方式:其一是羅茨泵--羅茨泵--機(jī)械泵;其二是羅茨泵--羅茨泵--水環(huán)泵。兩種方式均是以羅茨泵為主泵,而另一羅茨泵為前級(jí),兩羅茨泵抽速關(guān)系,由經(jīng)驗(yàn)確定,即

真空室:前級(jí)泵的配置抽速確定
標(biāo)簽: 真空  

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