在高真空領(lǐng)域內(nèi)，真空設(shè)備內(nèi)材料的出氣可以忽略時(shí)，真空室的抽氣時(shí)間計(jì)算域低真空抽氣
　　
　　氣計(jì)算相同。由于高真空泵抽速較大，這段時(shí)間很短。實(shí)際上高真空的抽氣時(shí)間，主要取決于材料出氣。
　　
　　在剛開始抽氣的幾十小時(shí)內(nèi)，材料出氣率是變量，因而真空室的總出氣量隨抽氣時(shí)間而衰減。計(jì)算到達(dá)某一壓力所需的時(shí)間由總出氣量和泵（或機(jī)組）的有效抽速的比值決定。一般可用查材料出氣率曲線和繪圖方法進(jìn)行計(jì)算。
　　
　　例如計(jì)算抽到壓力p需要的抽氣時(shí)間步驟如下：