隔膜式真空閥是利用閥桿將橡皮膜直接壓在閥座上用來(lái)截止或接通真空系統(tǒng)。閥體采用鋁合金鑄造，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，質(zhì)量輕，密封性能良好。采用丁腈橡膠隔膜，適用于前級(jí)和預(yù)抽管道上及溫度為-25℃～80℃的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠隔膜，可用于高真空系統(tǒng)，使溫度范圍為-30℃—150℃。
　　
　?、偕虾ｉy門(mén)二廠生產(chǎn)的GM高真空隔膜閥有GM型、GM-C型、GM-C-KF型、GM-D-H（工）型及GM-D-H(Ⅱ)型五種，其外形尺寸和主要技術(shù)性能見(jiàn)表7-17～表7-21。
　　
　　GM型高真空隔膜閥供接通或切斷真空系統(tǒng)之用。連接管焊接式真空隔膜閥更是溴化鋰制冷設(shè)備中的理想配件。適用介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。 　　
　?、谏虾Ｈf(wàn)可姆高科技有限公司生產(chǎn)的GM型真空隔膜閥有GM-B型、GM-C型、GMH-A型和氣動(dòng)型GMQ-A型、GMQ-B型、GMQ-C型六種。其外形尺寸和主要技術(shù)指標(biāo)性能見(jiàn)表7-22和表7-23。
　　
　?、凵虾Ｈf(wàn)可姆高科技有限公司生產(chǎn)的GMD型氣動(dòng)真空隔膜閥是以壓縮空氣為動(dòng)力，通過(guò)氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)開(kāi)、關(guān)真空閥門(mén)，可廣泛用于自動(dòng)控制的真空設(shè)備中。其氣動(dòng)控制方式有：兩位兩通，彈簧復(fù)位，常閉；兩位兩通，彈簧復(fù)位，常開(kāi)和兩位兩通，雙作用執(zhí)行機(jī)構(gòu)三種。閥體材料為304、316L，漏率≤1×10-6Pa·L/s，閥門(mén)壽命≥3萬(wàn)次。其外形尺寸見(jiàn)表7-24。
　　
　?、苌蜿?yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司生產(chǎn)的隔膜閥DM-1型，其主要技術(shù)性能參數(shù)和外形尺寸見(jiàn)表7-25。