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真空室的工作壓力

  真空室正常工作時(shí)所需要的工作壓力由下式?jīng)Q定:

真空室的工作壓力
  
  其余符號同公式(9-1)。
  
  真空室的工作壓力一般高于其極限真空。工作壓力選擇得愈接近極限真空,真空抽氣設(shè)備的經(jīng)濟(jì)效率愈低。從經(jīng)濟(jì)方面考慮,z*好在主的z*大抽速或z*大排氣量附近選擇工作壓力。一般工作壓力多半選擇在高于極限壓力半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。各類真空泵的工作壓力范圍見表9-2。工業(yè)常用真空泵z*佳工作范圍見表9-3。

真空室的工作壓力

  表9-2 各種真空泵工作壓力范圍

真空室的工作壓力
  
標(biāo)簽: 真空  

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