真空室所能達(dá)到的極限真空，有下式?jīng)Q定：

　　
　　真空室的極限真空通?？偸堑陀谡婵粘闅鈾C(jī)組的極限真空。兩者之差取決于Qo/Sp，在抽氣口附近泵有效抽速一定的條件下，真空室的極限真空正比于真空室的漏氣和出氣。
　　
　　在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí)，漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態(tài)下氣體負(fù)荷(工藝生產(chǎn)中放出的氣體量)的十分之一。