真空閥門是真空系統(tǒng)中用以調(diào)節(jié)氣流量、切斷或接通管路的元件。

真空閥門的種類繁多，根據(jù)閥門的工作特性、傳動(dòng)原理、聯(lián)接方式和用途等分類，見表7-1。

對(duì)真空閥門的基本要求是：流導(dǎo)盡可能大，密封可靠，操作簡(jiǎn)便，密封部件耐磨性好，能反復(fù)使用，壽命長(zhǎng)，容易清洗安裝。此外，對(duì)于超高真空閥還要求能耐烘烤(450℃)，對(duì)于節(jié)流閥要求能均勻調(diào)節(jié)氣流量。