CF法蘭由不銹鋼材料制成，適用于10-6Pa以上的超高真空。密封墊圈材料為無氧高導(dǎo)銅，允許高溫烘烤，使用溫度范圍為-196℃—450℃。法蘭尺寸符合國際標(biāo)準(zhǔn)。
　　①CF內(nèi)焊法蘭結(jié)構(gòu)尺寸見表6-80。

　?、贑F對焊、內(nèi)焊松套法蘭結(jié)構(gòu)尺寸見表6-81。

　　③CF盲法蘭、活套盲法蘭結(jié)構(gòu)尺寸見表6-82。

　?、蹸F法蘭銅墊密封圈見表6-83。