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容積真空泵性能測量報告與附錄

將容積真空性能測量抽氣速率、極限壓力、消耗功率和工作溫度測量結(jié)果填寫《真空泵性能測量記錄表》,并繪制抽氣速率一壓力曲線圖(如圖3-92所示)及消耗功率一壓力曲線圖(如圖3-93所示)。
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  附錄A真空計和壓力測量(補充件)
  (1)真空計
  根據(jù)JB/T 7266-94中對真空計精度的規(guī)定,應(yīng)采用下列真空計:
  壓力低于1.3×10^3Pa,用標準壓縮式真空計;
  壓力介于5.3×10^3Pa—5.3×10^2Pa之間,用油U形管真空計;
  壓力介于1×10^5Pa—5.3×10^3Pa之間,用汞單管或U形管真空計。
  (2)壓縮式真空計
  采用標準壓縮式真空計必須具有計量部門簽發(fā)的有效證書。
  使用的汞必須具有99.999%的純度,并經(jīng)過充分過濾、清洗和真空蒸餾,不使用時計內(nèi)應(yīng)保持真空。
  采用純度不低于99.9%的氮氣來提升計內(nèi)的汞。
  真空計與試驗罩之間,不得有橡膠管和帶真空油脂的玻璃閥門。
  真空計應(yīng)裝一只冷阱,測抽氣速率時,允許不灌注冷劑。
  壓縮式真空計采用“無標定標法”。提升汞的接預(yù)抽泵速度不得太快,提升結(jié)束,至少穩(wěn)定1min方可讀數(shù)。
  (3)油U形管真空計
  油U形管真空計(如圖3-94所示)應(yīng)該管徑均勻,并具有1mm的分度標。
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  測量用油20℃時,蒸氣壓低于0.133Pa,運動粘度低于30×10^-6m²/S,密度應(yīng)實際測量。
  預(yù)抽泵昀極限壓力應(yīng)低于0.133Pa。
  使用前,先經(jīng)過充分去氣;測量時,待液柱穩(wěn)定后方可讀數(shù)。
  附錄B流量計和流量測試(參考件)
  (1)流量計的選用
  根據(jù)JB/T7266-94對流量測試精度的規(guī)定,推薦按表3-126選用流量計。
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  (2)滴管式流量計
  滴管式流量計的結(jié)構(gòu)如圖3-95所示。測量段長度(從刻線1到2)為200mm。測量段容積的測量精度為±1%。連接微調(diào)閥的橡膠管要盡量短而細。油槽截面積應(yīng)大于180un2。測量用油20℃時的運動粘度應(yīng)低于30×10 -6rrr2/s,其密度應(yīng)實際測量。
  滴管式流量計所測流量按式(3-2)計算:q=VPat[l+133.32(Vo-V)hy/VPat]/t    (3-2)
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  (3)玻璃轉(zhuǎn)子流量計
  玻璃轉(zhuǎn)子流量計應(yīng)具有1.5級精度,并應(yīng)在流量60%—100%段使用,其所測流量按式(3-3)計算:
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標簽: 真空泵真空計  

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