渦旋式真空泵是一種新型干式真空泵，它是由渦旋式壓縮機演化而來的。其特點：①間隙小，泄漏小，具有較高的壓縮比，在較寬的工作壓力范圍內有穩(wěn)定的抽速。②工作壓力范圍寬。由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅動扭矩和功率變化小。③動靜渦旋形成的工作腔由于是對稱的，而且泵的結構簡單、零部件少，故工作平穩(wěn)，振動小，噪聲低，工作可靠性高。④渦旋型線從等截面優(yōu)化為變截面，使抽除氣體的能力大大增強。⑤能在大氣壓下(10^5Pa)啟動，可直排大氣獨立工作。⑥對被抽容器無污染，可抽除可凝性氣體。⑦主要部件采用復合高分子材料，可抽除腐蝕性氣體。由于渦旋式真空泵性能優(yōu)越，所以作為新型的無油真空泵在國內外真空行業(yè)內越來越多引起人們的重視。
　　渦旋泵的基本結構（圖3-86所示，主要包括左定子、右定子、轉子、曲軸、防自轉機構、進氣口、排氣口等部分。氣體在由渦旋定子和渦旋轉子組成的月牙腔內壓縮，渦旋定子固定在機架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開有吸氣口，在轉子和定子渦旋體中心部開有排氣口。渦旋轉子隨著曲軸的回轉似偏心量R or作半徑繞定子中心作公轉運動。渦旋轉子還受防自轉機構的約束，不能自轉，始終保持著一種固定的姿勢，其中心繞渦旋定子的中心作半徑為Ror的圓周運動。