爪式真空泵屬于變?nèi)菔?a href="http://www.92slsf.cn/search/?q=%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E6%B3%B5&Submit=%E6%90%9C%E7%B4%A2" target="_blank" class="keylink">真空泵，從使用壽命所能達到的壓縮比、轉(zhuǎn)速及動平衡性等方面考慮，在結(jié)構(gòu)上多采用多級爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或羅茨轉(zhuǎn)子與多級爪式型轉(zhuǎn)子串聯(lián)，組合成多級爪式真空泵。多級爪式真空泵的抽氣過程示意圖如圖3-82所示。

　　這種爪式泵由于沿軸向逆流少，所以壓縮比在高壓區(qū)較高。也因泵的吸排氣口設(shè)置在泵腔的端壁上，多級連接很方便，氣道流暢，故泵內(nèi)腔壓力變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結(jié)。目前爪式真空泵極限壓力為1Pa—10Pa，抽速為100m^3/h—180m^3/h。
　　爪式真空泵的工作原理如圖3-83所示。

　　具體抽氣過程分四個坤程：第一沖程：如圖3-83(a)所示，開始轉(zhuǎn)子對在初始位置，S腔的體積z*小，而且和吸氣口接通，S腔所處的容積不斷增加，被抽氣體進入S腔，體積較大的T腔則處于不斷縮小狀態(tài)。第二沖程：隨著轉(zhuǎn)子對的不斷運動，如圖3-83(b)所示。S腔正在不斷加大，吸入的氣體也越來越多，丁腔正不斷縮小，當和排氣口剛好接通時開始排氣。第三沖程：如圖3-83(c)所示，轉(zhuǎn)子對繼續(xù)運動，使丁腔變得z*小，氣體得到z*大限度壓縮，S腔變得z*大，吸氣排氣快要結(jié)束。第四沖程：如圖3-83（引所示，S腔和T腔合為一體，泵腔不再吸排氣，進、排氣口都自行關(guān)閉。這就是爪式真空泵抽氣的工作全過程。