干式旋片真空泵屬于變?nèi)菔?a href="http://www.92slsf.cn/search/?q=%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E6%B3%B5&Submit=%E6%90%9C%E7%B4%A2" target="_blank" class="keylink">真空泵，其工作原理與有油的旋片真空泵基本一致。圖3-81為干式旋片真空泵的工作原理圖。

　　干式旋片泵的轉(zhuǎn)子偏心地置于泵殼內(nèi)，上端靠近泵殼內(nèi)，形成進(jìn)排氣口間的密封。當(dāng)電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，旋片在離心力的作用下貼緊泵腔的內(nèi)壁。在泵體內(nèi)形成多個(gè)空腔，進(jìn)氣口側(cè)的空腔容積，隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)而增加產(chǎn)生真空而吸氣；排氣口側(cè)的空腔容積隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)而縮小，產(chǎn)生壓力而排氣。
　　由于干式旋片泵在無(wú)油狀態(tài)下工作，所以旋片材料需具備自潤(rùn)滑功能。目前，國(guó)內(nèi)外一般采用碳素材料；同時(shí)也因其無(wú)油，為減少氣體的泄漏，該泵采用多個(gè)旋片結(jié)構(gòu)。