(1)真空泵液返流率測試裝置相關(guān)術(shù)語
　　
　　①真空泵液返流率泵按規(guī)定條件工作時，在單位時間內(nèi)通過真空泵人口單位面積并與被抽氣體流動方向相反的真空泵液質(zhì)量流量。
　　
　?、跍y試罩指裝在真空泵入口處的，具有規(guī)定的型式和尺寸的容器。測試氣體通過罩充入真空泵內(nèi)，其側(cè)壁裝有充氣閥、真空計(jì)規(guī)管。
　　
　　(2)真空泵液返流率測試裝置測試裝置
　　
　　①真空泵液返流率測試裝置測試裝置的組成測試裝置如圖4-52所示，測試法蘭裝配在被泵與測試罩之間，集液管經(jīng)真空膠管與測試法蘭相連接。
　　
　　②真空泵液返流率測試裝置測試罩測試罩為如圖4-48所示的圓筒形容器，罩的內(nèi)徑D與泵口內(nèi)徑相等，頂部具有10^n斜面，軸線高度1.5D。氣體通過彎管充入罩內(nèi)，彎管開口向上，且位于測試罩軸線上。
　　
　　彎管開口平面與泵口法蘭平面的距離為D，規(guī)管與罩的連接管在距泵口法蘭平面0.5D處，其軸線垂直于測試罩軸線。
　　
　　測試罩外表面繞焊水冷管或其它水冷裝置，專用于泵液返流率的測試。
　　
　?、壅婵毡靡悍盗髀蕼y試裝置測試法蘭如圖4-52所示，用一個內(nèi)表面開設(shè)有斜槽的法蘭收集返流的泵液。法蘭內(nèi)徑與泵口及測試罩內(nèi)徑相同。
　　
　　④集液管 如圖4-52所示，為一下端封閉、豎直安裝且?guī)в?/10mL刻度的玻璃管。經(jīng)真空膠管將集液管上端與測試法蘭相連接，用以收集返流的泵液。管的刻度誤差應(yīng)不大于±5%。
　　
　?、菡婵沼?jì)規(guī)管與測試罩間連接管的流導(dǎo)至少應(yīng)為3L/s。連接管端應(yīng)突出于罩內(nèi)壁Smm。開口平面應(yīng)平行氣流流動方向。
　　
　　在測試過程中，真空計(jì)壓力讀數(shù)取兩位有效數(shù)字。所用真空計(jì)，必須經(jīng)過國家計(jì)量部門承認(rèn)的校準(zhǔn)單位使用干燥空氣進(jìn)行校準(zhǔn)。
　　
　　當(dāng)壓力高于或等于1Pa時，校準(zhǔn)精度應(yīng)在±5%以內(nèi);壓力低于lPa時，校準(zhǔn)精度應(yīng)在±10%以內(nèi)。
　　
　　如果真空計(jì)規(guī)管與測試罩之間已裝設(shè)冷阱，則在泵液返流率的測試過程中不許裝添冷劑。