①原理所采用的方法是定壓法。在測試過程中,泵口吸人壓力保持不變。實際上,測試罩內(nèi)測得的壓力保持不變,就認(rèn)為這個條件滿足了。
?、诔绦虿襟E為測試抽氣速率,應(yīng)將測試罩、真空計和氣體流率測量裝置,按(2)中④的要求裝配到被測泵上。在氣體流率測量裝置與測試罩之間,設(shè)置一個具有適當(dāng)調(diào)節(jié)范圍的進(jìn)氣微調(diào)閥。
按第(3)條規(guī)定測試條件泵正常工作,關(guān)閉進(jìn)氣微調(diào)閥,抽空測試罩。達(dá)到或接近極限壓力,并且泵達(dá)到平衡溫度。
測量氣體流率之前,應(yīng)先通過滴管內(nèi)液位的升降動作,使內(nèi)壁潤滑,并進(jìn)行測試裝置的氣密封檢漏試驗。微調(diào)閥到滴管之間不得漏氣。
開啟微調(diào)閥,使氣體進(jìn)入測試罩內(nèi)。在所需的泵口吸人壓力范圍調(diào)節(jié)壓力,按算術(shù)平均值讀取壓力值。流率測試前應(yīng)使系統(tǒng)達(dá)到壓力平衡狀態(tài)。
抽氣速率(體積流率)測試過程,應(yīng)從z*低吸入壓力開始逐點進(jìn)行(每個數(shù)量級內(nèi)至少測五點,約在1.6,2.5,4,7和10)。但對增壓泵,則從z*高吸人壓力開始進(jìn)行系列測量。對每個測量點,應(yīng)盡可能同時測得泵口吸入壓力、環(huán)境大氣壓力和氣體流率。如果向測試罩輸入氣體時間超過60s,則壓力測量應(yīng)以60s為一個周期,取平均值。如果輸入氣體進(jìn)行中的壓力讀數(shù)波動過大,z*高與z*低值之差超過10%,則測量操作應(yīng)重新進(jìn)行。
不同壓力點兩次氣體流率測量之間的時間間隔,z*小為2min。
氣體流率及抽氣速率的測試與計算方法詳見本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A。
蒸氣流真空泵抽氣速率的方法和步驟
2014-03-05 06:18:00 閱讀()
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