①裝置的組成與被測泵相連接的測試罩側壁，裝有真空計規(guī)管和進氣微調閥，通過微調閥與氣體流率測試裝置相連接。

　　
　?、跍y試罩如圖4-48所示，測試罩為一圓形鐘罩式組件，其內徑D與泵入口內徑以及擋板、冷阱的進口內徑相同。罩體上蓋為與水平面呈100角的斜面，斜面截中軸線高為1.5D。試驗氣體通過彎管進入罩內，彎管開口向上，即背離泵口，且位于中軸線上，距泵入口法蘭高為D。真空計規(guī)管連接管在罩壁距泵入口法蘭0.5D處，其軸線垂直于測試罩軸線，罩軸線垂直于泵入口法蘭平面。
　　
　　注：如果泵內的零件超出了泵人口法蘭平面，這些伸出零件z*高點的參考平面及在這個平面距泵口距離由制造廠確定。
　　
　　③真空計規(guī)管與測試罩間連接管的流導，至少應為3L/s。連接管端突出于罩內壁長度不超過連接管內徑的0.5倍，一般可取Smm，開口平面應平行于氣流流動方向。如果使用冷阱，則應放置于規(guī)管與測試罩之間，且保持冷劑的液位不變。
　　
　　測試過程中真空計壓力讀數(shù)取二位有效數(shù)字，并注明真空計種類。所用真空計必須經過國家計量部門承認的校準單位對于燥空氣進行校準。
　　
　　當壓力高于或等于1Pa時，校準精度應在±5%以內。壓力更低時，校準精度應在±10%以內。
　　
　?、軞怏w流率測量方法及裝置根據氣體流率選用測量方法及裝置。通常大多采用滴管式測量裝置，由倒置滴管、測量液、貯液槽以及連接膠管等組成。圓形貯液槽直徑應大于滴管直徑的5倍。滴管容量可根據被測泵氣體流率選擇。詳見本標準的附錄A。
　　
　　氣體流率的測量精度規(guī)定如下：
　　
　　a.流率大于9.9×10 -lPa.m3/s，為±3%;
　　
　　b.流率范圍9.g×10 -lPa. m3/s—9.9×IO - SPa- m3/s，為±5%;
　　
　　c.流率更小時，為±10%。
　　
　　注：理想氣體情況，假設為20℃。