本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義：
　　
　　①抽氣速率(體積流率)。理論概念是指單位時間內(nèi)通過標(biāo)準(zhǔn)測試罩流經(jīng)泵入口截面的氣體體積，簡稱為抽速。其單位是L/s。實際計算泵按規(guī)定條件工作時，對給定氣體的抽氣速率S，是通過測試罩的氣體流率Q除以測試罩指定位置平衡壓力p所得之商確定：
　　
　　S= Q/p
　　
　　對蒸氣流泵來說，只有當(dāng)p超過lOPa時，抽氣速率的計算才接近真實值。此處p是用相同的真空計測得的極限壓力。
　　
　　②測試罩。裝在泵人口處的具有規(guī)定的型式和尺寸的組件。試驗氣體通過罩進入泵內(nèi)，其側(cè)壁裝有進氣微調(diào)閥和真空計規(guī)管。
　　
　?、蹣O限壓力。泵按規(guī)定條件工作，關(guān)閉進氣閥門，在測試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的z*低壓力。