(1)惰性氣體分壓的影響
分子篩吸附泵從大氣開始抽氣所能達到的極限壓力,受到He、Ne等惰性氣體的分壓限制。干燥大氣成分和經過分子篩泵抽氣后的殘余氣體成分,見表5-45和表5-46。
采用兩級分子篩串聯(lián)抽氣或用其它手段降低惰性氣體分壓,可提高極限真空。
預先用機械泵抽氣是降低惰性氣體分壓的z*簡便方法。例如1L的玻璃容器先用機械泵預抽到10-1Pa,然后用負荷率為0.055L/g的分子篩泵抽氣,30min壓力可降到1×10-4Pa;再用第二個分子篩泵繼續(xù)抽氣,10min后可獲得2×10-5Pa的極限真空。240L的金屬容器,用機械泵預抽到16Pa后,再用兩臺負荷率為1.4×104Pa·L/g的分子篩泵施行“二級抽氣”,2h后可達到9.6×10-4Pa的真空度。但是,利用機械泵進行預抽會帶來機械泵油的污染問題,將喪失“無油”的優(yōu)點。
用高純度氮氣沖洗被抽系統(tǒng),可降低惰性氣體分壓,提高極限真空。經氮氣沖洗過的系統(tǒng),用二級分子篩抽氣,能獲得10-3Pa數(shù)量級的真空。但比較麻煩,抽氣時間也相應地增長。
用“二級抽氣”法也能降低惰性氣體的分壓。所謂“二級抽氣”就是先用第一級分子篩泵將容器抽到100Pa左右(一般為80Pa~600Pa),關閉第一級分子篩的閥門,然后再啟動第二級分子篩泵。這樣,客器中一部分惰性氣體被“席卷”到第一級泵中,從而降低容器中的惰性氣體的分壓,使第二級泵可達到10-2Pa的極限真空。這是一種不增加其它輔助設備的簡單易行的辦法,但效果不如前兩種方法顯著。
(2)起始壓力的影響
實驗證明,分子篩在1×10-5Pa—l0-9Pa壓力范圍內,都有顯著的抽氣作用,但是在超高真空范圍內工作時,分子篩的起始壓力對極限真空的影響非常顯著,如圖5-72所示。
(3)水氣對分子篩吸附泵的影響
分子篩暴露在潮濕空氣中能大量吸收水分,195A分子篩可吸收O.1g—0.2g(相當于1.3×104Pa.L—2.6×104Pa·L)的水氣。吸附了大量水氣的分子篩,其吸氣能力大大降低。圖5—73為分子篩吸水后對剩余壓力的影響。
為除去分子篩中已吸附的水氣,可采用在300℃—500℃下加熱再生的方法。再生時間為0.5h~2h左右。分子篩在300℃—350℃下反復再生200次左右,其吸氣能力將下降為原先吸氣能力的70%左右。此后,繼續(xù)再生2000次左右,性能不變。如圖5-74所示。
影響分子篩吸附泵性能的因素
2014-03-01 06:11:00 閱讀()
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