內(nèi)冷式吸附泵的優(yōu)點是：分子篩能充分冷卻，極限真空高，吸附容量大，消耗液氮少，不需另附液氮套。缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工較困難。外冷式吸附泵結(jié)構(gòu)簡單，加工較容易；漏氣可能性小。缺點是液氮消耗量大，分子篩的冷卻效果差，需另附液氮套。
　　
　　分子篩泵結(jié)構(gòu)設(shè)計中必須特別注意的是，需要設(shè)計一個簡單可靠的安全閥，否則再生活化時，由于溫度高，泵內(nèi)形成幾十個大氣壓，會造成爆炸危險。