分子篩（人造沸石）屬于微孔型結(jié)構(gòu)的堿金屬鋁硅酸鹽。體內(nèi)有許多空腔狀晶胞，晶胞之間有窗口相通，氣體分子可以通過窗孔吸附于晶胞空腔的內(nèi)表面。分子篩有很大的比表面積(A型分子篩為800m2/g，X型為1000m2/g)，因而在液氮溫度下，吸氣能力很強，每一千克分子篩能把50L—100L的容器從大氣抽到1Pa。
　　
　　分子篩因其窗孔直徑大小不同而分為不同型號。真空技術(shù)中，一般使用13X型和SA型兩種分子篩作吸附泵的吸氣劑。分子篩的通用分子式為

　　其中M——正離子；
　　n——價數(shù)。
　　
　　幾種分子篩的特性和常見的吸附劑性能見表5-40～表544。
　　
　　分子篩對氣體分子的吸附具有很強的選擇性，它只能吸附分子直徑小于其窗口孔徑的氣體分子。由于分子篩晶體是離子型的，所以它對于極性分子具有優(yōu)先吸附的能力，對惰性氣體的吸附能力很小，只有對活性氣體吸附能力的幾十萬分之一。溫度對分子篩的吸附能力影響很大，室溫下對活性氣體的吸附能力，只有液氮溫度下的幾十萬分之一。




　　
　　分子篩對氣體的吸附是物理吸附，過程是可逆的。低溫下吸附的氣體，當溫度回升時，將如數(shù)釋放出來。升溫使分子篩吸附的氣體再脫附的過程，稱為再生活化。再生活化溫度不能超過600℃，否則將因粘結(jié)劑揮發(fā)而粉碎。一般為200℃—500℃。
　　
　　對真空吸附泵使用的分子篩的要求是：①吸氣量大；②高的物理穩(wěn)定性和化學惰性；③導熱性好；④再生容易。


　　
　　5A、13X分子篩和活性炭是真空技術(shù)中z*常用的吸附劑材料。SA分子篩的吸收容量大，但必須經(jīng)常再生活化；13X的吸收容量雖比SA小，但能吸收油蒸汽。至于活性炭，其導熱性雖好，但有再生除氣時間長、吸收容量小的缺點。