典型的小型制冷機(jī)低溫泵的泵體結(jié)構(gòu)如圖5-57所示。兩級制冷機(jī)冷頭通過法蘭直接插入到泵殼內(nèi)。屏蔽板及入口障板與制冷機(jī)一級冷頭相連，工作溫度在70K～80K。屏蔽板的作用有二：除可以冷凝抽除H20、C02等氣體外，主要是為低溫抽氣板提供隔熱屏蔽，屏蔽板頂端或側(cè)壁裝有障板。向著低溫板的一面涂（鍍）黑，外面鍍銀拋光，用以降低二級制冷機(jī)頭的熱負(fù)荷。主抽氣低溫板用銦墊片連接到制冷機(jī)二級頭上，外表面鍍銀拋光，內(nèi)壁粘活性炭。低溫板工作溫度低于20K，通常為(14K～15K)，能大量冷凝吸附除氫、氖、氦以外的其它常見氣體。低溫活性炭用以吸附氫、氖、氦等難凝氣體。
　　
　　氫是真空系統(tǒng)中分壓較高的氣體，氖和氦的氣量很小。在各種吸附材料中，活性炭對氫的吸附能力z*強(qiáng)，見表5-25。

　　
　　泵芯結(jié)構(gòu)通常使x= 0.75y，第二級對第一級的制冷功率比為1: 3.5~1: 11，而在低壓下（分子流態(tài)）1：100～1：200是z*佳值。低溫泵的抽速隨泵口橫截面的增加而增加，泵體高度的變化對抽速影響較小。
　　
　　小型制冷機(jī)低溫泵外殼結(jié)構(gòu)分為三種類型，如圖5-58所示。①裸式泵。將泵芯直接插入真空室中。②直筒泵。泵體外形為直筒形，是z*常見的三_種泵。③凸腔泵。泵腔部分?jǐn)U大，提高泵的抽速。