高真空油擴(kuò)散泵的主要部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導(dǎo)管和加熱器等，如圖4-30所示。

　　
　　擴(kuò)散泵油鍋中的泵油在真空中加熱到沸騰溫度(約200℃)，產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸氣流中。油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運(yùn)動(dòng)。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣流進(jìn)行多級(jí)壓縮，z*后由前級(jí)真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。