油擴(kuò)散真空泵(簡(jiǎn)稱油擴(kuò)散泵)是用來(lái)獲得高真空或超高真空的主要設(shè)備。它廣泛用于電子工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、真空冶金、真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備、原子能工業(yè)以及空間模擬設(shè)備等高科技領(lǐng)域中。
　　
　　油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍為10^-2Pa～l0^-5Pa，極限壓力一般為7×10^-6Pa。若通過(guò)高溫烘烤除氣后更可獲得10^ -8Pa的真空度。泵的抽速大，抽速范圍寬(幾升每秒至十幾萬(wàn)升每秒)。其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，使用壽命長(zhǎng)，可靠性高，操作與維護(hù)方便等。我國(guó)制訂有油擴(kuò)散泵行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范了泵的技術(shù)性能、型式、參數(shù)、測(cè)試方法等。國(guó)內(nèi)很多真空生產(chǎn)廠家都有定型的系列(K、KT)產(chǎn)品。新的KTD系列高真空低返油擴(kuò)散泵具有抽速大(300L/s—55000L/s)，返油率低[≤6×10^-4g/(cm^2 .s)]的優(yōu)點(diǎn)，該泵將水冷擋油帽和泵體組成一個(gè)整體，簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)，并提高了真空抽氣系統(tǒng)的有效抽速。ZK系列高真空油增擴(kuò)泵按抽氣機(jī)理仍屬油擴(kuò)散泵，它的特點(diǎn)是在1.3×10^-lPa時(shí)仍有較大的抽速，并采用內(nèi)加熱方法，縮短了泵的啟動(dòng)時(shí)間。