?、賳渭壭?a href="http://www.92slsf.cn" target="_blank" class="keylink">真空泵的工作原理(圖3-22)。
　　單級旋片式真空泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉(zhuǎn)子組成。在定子缸內(nèi)偏心地裝有轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁（轉(zhuǎn)動后還有旋片離心力）。定子上的進排氣口被轉(zhuǎn)子和旋片分為兩部分。
　　當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子缸內(nèi)旋轉(zhuǎn)時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口方面容積將已吸入氣體壓縮從排氣閥排出。
　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。泊通過泵體上的縫隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內(nèi)所有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。同時，油還充滿了泵腔內(nèi)的一切有害空腔，以消除它們對極限真空的影響。

 

　?、陔p級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）。
　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，工室是Ⅱ室的前級，工室是低真空級，Ⅱ室是較高真空級。被抽氣體由進氣管道進入Ⅱ室。當(dāng)進入氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮、壓強急增，被壓縮的氣體除經(jīng)通道2進人工室外，還能推開排氣閥1，從排氣閥1排出。
　　當(dāng)進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1，氣體全部經(jīng)通道2進入工室，經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。