油擴(kuò)散噴射真空泵的結(jié)構(gòu)原理
2014-02-20 06:48:00 閱讀()
油擴(kuò)散噴射泵的主要抽氣部件是泵體、噴射器、導(dǎo)流管、鍋爐和回油管(如圖4-14所示)。噴射器由拉瓦爾噴管和超聲速擴(kuò)壓管組成。 油擴(kuò)散噴射泵鍋爐中產(chǎn)生的油蒸氣(2.6×10^3Pa—6.6×10^3Pa)經(jīng)導(dǎo)流管輸送到拉瓦爾噴管加速,在噴管的出口處速度達(dá)到超聲速(馬赫數(shù)Ma >1),油蒸氣流的位能(熱能和壓力能)轉(zhuǎn)變?yōu)?動(dòng)能(速度能)。這個(gè)超聲速流依靠它的表面層的作用(裹攜和擴(kuò)散)和被抽氣體混合進(jìn)行能量交換,這種混合氣流的擴(kuò)壓器的收斂段繼續(xù)混合并被逐步滯止在擴(kuò)壓器喉部,產(chǎn)生正激波,得到壓力和溫度的恢復(fù),速度降低為亞聲速流(馬赫數(shù)Ma<L),再經(jīng)過亞聲速擴(kuò)散段(擴(kuò)壓管的發(fā)散段),進(jìn)一步得到壓力和溫度的恢復(fù),速度進(jìn)一步降低,使動(dòng)能轉(zhuǎn)化為位能,在擴(kuò)壓管出口處壓力達(dá)到等于或高于其周圍的壓力而排至下一個(gè)抽氣級(下一級噴射器或前級泵入口級)。各級工作的油蒸氣流被器壁上的冷卻水管冷凝,經(jīng)過回油管回流到鍋爐中,再重新加熱成油蒸氣流,如此循環(huán)進(jìn)行抽氣。
為提高油擴(kuò)散噴射泵在低壓力(10-1Pa~10-2Pa)下的抽速,擴(kuò)展它的工作下限,油擴(kuò)散噴射泵的高真空級(第一、二級)采用與油擴(kuò)散泵相同的傘形噴口。油擴(kuò)散噴射泵綜合了擴(kuò)散泵和噴射泵的工作特點(diǎn),它是介于這兩類泵之間的一種特殊抽氣泵。
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