油擴散噴射真空泵又稱油增壓泵。其工作壓力范圍為10Pa—10 ^-2Pa，在此工作壓力范圍內(nèi)油擴散噴射真空泵具有較大的抽速和z*大出口壓力。通常它比同口徑的油擴散泵的抽氣量高4倍～20倍，加熱功率高2倍~5倍。按其工作范圍，它介于油封機械泵(1×10^5Pa—10^ -2Pa)和油擴散泵(10 ^-2Pa—10^-6Pa)的工作壓力范圍之間。該泵的優(yōu)點是在1Pa—10^-1Pa壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，可以彌補油封機械泵和高真空油擴散泵在此區(qū)間抽速較小的缺點(因為在10^-1Pa低壓力范圍油封機械泵的抽速有明顯的降低，而大多數(shù)高真空油擴散泵在此壓力范圍內(nèi)的抽速也較小)。此外，它的z*大反壓力較油擴散泵高(大于10^2Pa)，所以油擴散噴射泵除可用作真空系統(tǒng)主泵使用之外，還可以用到油擴散泵的出口處來增加其出口壓力，在排除一定量的氣體時，能相對地減少所配置的前級泵的容量，使前級機械泵能有效地工作，故油擴散噴射泵又稱為油增壓泵。

　　

　　油擴散噴射泵與羅茨式真空泵相比較，結(jié)構(gòu)簡單，無機械轉(zhuǎn)動部分，運轉(zhuǎn)可靠，維護方便，使用壽命長，廣泛用于真空冶金爐，如真空感應(yīng)爐，真空電弧爐，電容器的真空干燥和浸漬，真空蒸餾設(shè)備，石油化工、塑料連續(xù)噴鍍，低密度風(fēng)洞設(shè)備，固體火箭發(fā)動機點火模擬設(shè)備和固體發(fā)動機高空試車臺等設(shè)備中。

　　

　　但是，油擴散噴射泵不適用于抽除對金屬有腐蝕作用或與泵油產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。