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低溫泵的分類

  按照低溫介質(zhì)的供給方式,低溫分為三種類型:
  
  ①流程低溫泵(圖5-38)  泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機(jī)相聯(lián)接,低溫介質(zhì)(氣氦)通過外管路供給低溫泵,吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機(jī),形成封閉循環(huán),這種低溫泵的體積龐大、管路復(fù)雜、管路冷損較大。優(yōu)點(diǎn)是制冷功率大,z*適宜抽除大氣量或大型真空室,廣泛用于空間環(huán)模設(shè)備、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、火箭發(fā)動機(jī)高空點(diǎn)火試驗(yàn)以及低壓空氣動力學(xué)試驗(yàn)等。
低溫泵的分類
  
 ?、谫A槽式低溫泵(圖5-39)  低溫介質(zhì)(液氦)直接注入泵內(nèi)貯槽,使氣體冷凝達(dá)到抽氣目的。其優(yōu)點(diǎn)是泵的體積小、無振動、無噪聲、操作簡便,適用于大專院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。缺點(diǎn)是運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高,每次加注低溫介質(zhì)的使用時(shí)間短,需長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的真空系統(tǒng)要定期補(bǔ)充工作介質(zhì),并且受到低溫介質(zhì)供應(yīng)條件的限制。
低溫泵的分類
  
  ③小型制冷機(jī)低溫泵(圖5-40)  閉循環(huán)小型制冷機(jī)低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機(jī)和壓縮機(jī)等部分組成。和流程低溫泵的z*大區(qū)別是制冷機(jī)一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連,在制冷機(jī)與壓縮機(jī)連接管路中流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì),不存在低溫介質(zhì)的輸送問題,兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的優(yōu)點(diǎn),是目前比較理想的清潔超高真空泵。廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)模設(shè)備以及其它各工業(yè)領(lǐng)域。
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