用低溫介質(zhì)將抽氣面冷卻到20K以下，抽氣面就能大量冷凝沸點(diǎn)溫度比該抽氣面溫度高的氣體，產(chǎn)生很大的抽氣作用。這種用低溫表面將氣體冷凝而達(dá)到抽氣目的的泵叫做低溫泵，或稱冷凝泵。
　　
　　低溫泵的抽氣能力和所能達(dá)到的極限壓力，和低溫板的溫度以及被抽氣體的飽和蒸氣壓有關(guān)。常見氣體的蒸氣壓、蒸發(fā)潛熱和熔點(diǎn)見表5-14。