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濺射離子泵的型式與基本參數(shù)

  本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了普通型式的濺射離子的型式與基本參數(shù)。適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
  
  本標(biāo)準(zhǔn)使用的術(shù)語應(yīng)符合GB3163的規(guī)定。使用的符號、代號應(yīng)符合JB/T7673 - 95。
  
  (1)型式
  
 ?、俦緲?biāo)準(zhǔn)把二電位普通型式的濺射離子泵分為二極型泵和三極型泵。
  
  二極型泵的抽氣單元由陽極筒和陰極板組成,陽極接數(shù)千伏正電位,陰極連同泵體接地。
  
  三極型泵的抽氣單元由陽極、陰極和收集極組成。陽極和收集極連同泵體接地,陰極接數(shù)千伏負(fù)電位。
  
 ?、谛吞柋硎痉椒毞螶B/T7673 - 95真空泵型號編制方法。
  
  (2)基本參數(shù)
  
 ?、俣O型濺射離子泵的基本參數(shù)應(yīng)符合表5-7的規(guī)定。
濺射離子泵的型式與基本參數(shù)
濺射離子泵的型式與基本參數(shù)
  
 ?、谌龢O型濺射離子泵的基本參數(shù)應(yīng)符合表5-8的規(guī)定。
濺射離子泵的型式與基本參數(shù)
標(biāo)簽: 濺射離子泵型式基本參數(shù)  

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