(2)機械真空泵入口處應(yīng)安置壓差閥，當(dāng)機械泵停止后，立即將機械泵入口通大氣。防止泵油返流進入到真空容器中。
(3)不要用機械泵將真空室直接抽至低于13pa壓強，否則機械泵油蒸氣容易返流進入真空容器中。因為在壓強低于13pa時，會出現(xiàn)分子流流態(tài)，油蒸氣分子將返流到真空容器中而造成污染。如果在機械泵與真空容器之間設(shè)有冷凝捕集器，則允許機械真空泵抽到13Pa以下的壓力，這時捕集器可以防止油蒸氣進入真空容器。
(4)不要使機械真空泵在大氣壓力下或較高壓力下連續(xù)長時間工作，否則電機會過熱，而且泵出口會噴出油霧。
(5)在擴散泵(或油增壓泵)通大氣之前，應(yīng)該將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下泵油發(fā)生氧化。
(6)蒸氣流泵在加熱之前，應(yīng)供給冷卻水。而且泵應(yīng)該配備熱保護繼電器，當(dāng)發(fā)生停水事故時，能立即使加熱器斷電，并關(guān)閉入口閥門防止泵液因溫度過高而氧化。
(7)由于擴散泵油返流在泵開始工作和泵停止加熱階段特別嚴重，因此在開泵前和停泵前應(yīng)將擴散泵的入口的高真空閥門關(guān)閉，可以防止泵油返流到真空室。
(8)不要在壓力高于10-2pa時給冷阱加入液氮，這樣會導(dǎo)致凝結(jié)很多水氣。冷阱在使用前要把液氮阱的貯液罐中的所有水凝液都清除掉，以避免水凍結(jié)在阱內(nèi)。開始抽氣時，z*好分步地加注液氮，這樣可使真空系統(tǒng)冷凝物主要捕集在阱的下部。當(dāng)達到高真空后，應(yīng)給阱加注液氮達到較高液面，以便大量捕集氣體。
(9)為了縮短抽空時間，當(dāng)真空室對大氣壓作短時間通氣時，使用干燥氮氣為好。把真空系統(tǒng)內(nèi)表面的濕氣減到z*小限度。通氣時應(yīng)在真空室一側(cè)用放氣閥門進行放氣。不可以從擴散泵出口的前級管道上通氣。
(10)使用熱陰極電離計時，應(yīng)該在真空室內(nèi)的壓力達到1.33×10-11pa時，再接通電離計的電源，防止因壓力過高而燒壞規(guī)管的陰極燈絲。
(11)當(dāng)真空系統(tǒng)停止工作時，應(yīng)使系統(tǒng)處于并保持在真空狀態(tài)下，但是機械泵要通大氣。
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