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真空系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)的簡單構(gòu)架

真空技術(shù)的應用中,真空的獲得和真空度的測量是兩個z*重要的方面?! ?br />   
  一個真空系統(tǒng),必須要有真空獲得的設(shè)備和真空度的測量儀器。目前常用的真空獲得設(shè)備主要有旋片式真空、水環(huán)式真空尖、滑閥式真空泵、油擴散泵、渦輪分子泵、離子濺射泵、升華泵等。真空測量儀器主要有U型真空計、熱傳導真空計、電離真空計等。隨著電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展,各種真空獲得設(shè)備向高抽速、高極限真空、無污染方向發(fā)展。各種真空測量設(shè)備與微型計算機相結(jié)合,具有數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)打印、自動監(jiān)控和自動切換量程等功能。  
  
  什么是真空系統(tǒng)?用一句話來概括就是用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。真空系統(tǒng)設(shè)計的基本內(nèi)容:是根據(jù)生產(chǎn)工藝流程或真空實驗對真空度的要求,來選擇適當?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計方案。先要確定真空度的使用要求、真空容器容量、抽氣速率、所抽氣體性質(zhì)四個指標,然后再根據(jù)這四個指標進行選、配真空泵;z*后確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等,進行合理配置,劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖?! ?br />   
  真空系統(tǒng)的簡單構(gòu)架  
  
  真空應用設(shè)備種類繁多,但無論何種真空應用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng),以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構(gòu)成了一個z*簡單的真空抽氣系統(tǒng)?! ?br />   
  z*簡單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內(nèi)獲得低真空范圍內(nèi)的真空度。當需要獲得高真空范圍內(nèi)的真空度時,通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵。當串聯(lián)一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。

標簽: 真空系統(tǒng)高真空系統(tǒng)真空  

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