在水噴射真空泵的噴射器前面串聯(lián)一級或多級蒸汽噴射真空泵即汽水串聯(lián)噴射真空泵，其結(jié)構(gòu)見汽水串聯(lián)噴射真空泵。其工作原理是：一定壓力的飽和或過熱蒸氣通過拉瓦爾噴嘴減壓增速后進入蒸汽噴射器的混合室，使混合室產(chǎn)生真空，被抽介質(zhì)被抽吸進混合室與工作蒸汽混合，混合后的流體通過擴散管，速度下降，壓力升高，直至達到下一級吸入口壓力后排入下一級蒸汽噴射泵或水噴射泵。它是低位整機型式，真空度相對較高，可以取代水環(huán)—羅茨機組、旋片—羅茨機組直接抽吸可凝性汽體，但它在高真空的抽不凝性氣體量有限。