氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵,可分以下幾種型式。
1.吸附泵,它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。例如分子篩吸附泵。
2.吸氣劑泵,它是一種利用吸氣劑以化學(xué)方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如鈦升華泵和鋯鋁吸氣泵屬于這種類型。
什么是氣體捕集式真空泵?
2009-04-25 15:15:18 閱讀()
來源:互聯(lián)網(wǎng)作者:林紹揚(yáng)
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