渦旋式無油機(jī)械真空泵是從渦旋式壓縮機(jī)演變而來的一種新型的干式機(jī)械真空泵。     
　　渦旋式無油機(jī)械真空泵的工作原理。構(gòu)成渦旋式真空泵抽氣用渦旋體的曲線為漸開線。固定的渦旋體稱定子，轉(zhuǎn)動的渦旋體稱轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子無自轉(zhuǎn)而以一定的回轉(zhuǎn)半徑平動公轉(zhuǎn)。隨著轉(zhuǎn)子的平動公轉(zhuǎn)，在兩個(gè)渦旋體之間形成了吸氣腔和壓縮腔。吸入氣體后的工作腔的容積隨著轉(zhuǎn)子的運(yùn)動而縮小，從外圈向中心移動排出氣體，連續(xù)完成了吸氣、壓縮和排氣過程。 
　　為了減輕泵渦旋體的重量，其基材用鋁，在表面上涂鍍一層特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蝕性。該泵渦旋體間相鄰工作腔的壓差小,故氣體泄露量小,泵的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩變化小，因此泵的噪昔低、振動小。 
　　該泵特點(diǎn)是重量輕、體積小，為臥式結(jié)構(gòu)，可以從大氣壓力下直接抽到10-1Pa，是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。